顯微維氏硬度計的測試原理基本和維氏硬度測試相同，所不同的是壓頭采用的是兩對面夾角為136o底面為正方形的正四棱錐金剛石壓頭和一徑角為 ，橫斷角為的金剛石錐形壓頭，即：克努普金剛石壓頭。顯微硬度計和維氏硬度計所用的載荷分別為：1kg、2kg、3kg、5kg、10kg、20kg、30kg、50kg、100kg、120kg等，常用的為1kg、2kg、5kg、10kg、30kg、50kg。載荷的大小主要取決于試件的厚度。
1、顯微維氏硬度計的工作原理。
硬度是一個十分重要的力學性能指標，它能反映材料彈性和塑性變形的特性指標。硬度測定時試樣制備簡單，試樣基本不被破壞，接近無損檢測，在不同尺寸與形狀的試樣上測定時，操作簡便，測量速度快，并且硬度與強度之間有著相似的換算關系，根據硬度值能夠得出近似的強度極限值;硬度測定是用標準形狀和尺寸的較硬物體在一定壓力下接觸材料表面，測定材料在變形過程中表現出來的抗力，稱為硬度測試。用不同的載荷施加力的方法所得到的硬度是表現材料抵抗塑性變形的能力，肖氏硬度則表現了材料抵抗彈性變形的能力;日常中我們把載荷大于1kg測試力的稱為宏觀硬度，它主要用于較大的試件，希望通過硬度測試能夠反映材料的宏觀性能;載荷小于1kg測試力的稱為微觀硬度，它主要用于小而薄的試件，希望反映出微小領域內的材料性能，如顯微組織的相硬度、材料的表面硬度。
2、顯微維氏硬度計的結構參數。
顯微硬度計由硬度計主機及測微目鏡和相關附件組成。測微目鏡是用來觀察金相或顯微組織，確定測試部位，測量對角線長度，數據的采集等;硬度計主機則是完成目鏡與壓頭的切換，在確定的測試部位進行施加載荷，完成平臺的移動尋找像點等;相關附件主要是為了試件的夾持穩(wěn)固等。